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专利名称：感受器系统专利类型：发明专利
发明人：G·N·马卡利,O·科迪纳,G·瓦伦特,D·克里帕,F·普雷蒂申请号：CN02830017.3申请日：20021210公开号：CN1708601A公开日：20051214
摘要：本发明涉及一种感受器系统，用于处理基片和/或晶片的装置，该感受器系统提供有由至少两个壁界定的处理腔室(1)，并有至少一个加热螺线管(9)；该感受器系统包括至少一个感受器元件(2、3)，该感受器元件由外表面界定，并由适于通过电磁感应加热的导电材料制成；感受器元件(2、3)为空心的，且该感受器元件(2、3)的外表面的第一部分适于作为处理腔室(1)的壁，而该感受器元件(2、3)的外表面的第二部分适于布置成靠近加热螺线管(9)。
申请人：ETC外延技术中心有限公司
地址：意大利卡塔尼亚
国籍：IT
代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：范莉
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