高功率脉冲光纤激光器的系列关键技术及其设备研究可行性报告

2009年度浙江省科技计划重大科技专项项目

项目可行性报告及经费概算

重大科技专项名称：重大应用电子技术和新型电子元器件

（一）光电子集成器件的研发

项目名称：高功率脉冲光纤激光器的系列关键技术及其设备研究

申请日期： 2008年05月

一、 项目可行性报告

（一）立项的背景和意义。

激光技术的发展自20世纪六十年代激光问世以来，已经极大地改变了现代人的思想观念和生活质量。大功率的光纤激光作为一种特殊的光源，近几年来其发展势头之猛，已经远远超出人们当初的想象。本项目将针对高功率脉冲光纤激光器在二个主要方面的应用，即作为精密微加工应用的激光光源和激光频率变换系统的泵浦光源开展工作，研制高品质的高功率脉冲光纤激光器，特别是线偏振输出的高功率脉冲光纤激光器。

随着科学的发展和社会的进步，高效、环保、精密的绿色加工正在从概念走向现实。作为一种蓬勃发展的高新技术，激光加工技术近年来已经在各方面显示绿色加工特有的优势，如采用高功率二氧化碳激光器的金属切割、焊接，采用高功率Nd：YAG激光器的钻孔、刻划、打标等等，都在所应用领域极大地提高了生产效率和产品的质量，降低了工作强度，减少了环境污染。典型的如，大家非常熟悉的原先采用传统手工刻制的公司和私人印章，其加工工艺已经毫无例外地被激光雕刻机加工所取代，其加工的时间也从原来的几天缩短到目前的不到半小时。国际上一些著名的飞机和汽车生产企业，如波音、空客、大众、奔驰等公司都已经在生产中引入了激光加工生产线，作为典型例子，空客公司的正在试飞、即将投入正式运营的空客A380，正是由于其有效地采用了激光加工技术，提高了加工的精度，因此才能在进一步提高飞机机械强度的同时，大幅度地减少飞机本身的重量，从而为大幅度提高载客量奠定了基础。因为机体体积的显著增大，毫无疑问将使得对机身强度和重量的要求大幅度提高，很难想象，如果没有激光加工技术的广泛应用，空客A380能否实现从原来的载客300人左右提高到目前的580人。

与一般传统的加工用高功率激光器相比，近二年在国际上突飞猛进的光纤激光器具有独特的优点。由于单模光纤独特的光束作用，使得光纤激光的光束质量并不会由于激光功率的增加而降低，光纤本身特有的大表面积，又使得严重影响常规固体激光器光束质量的热畸变问题在光纤激光器中也不再是一个问题。非常清楚的是，光束质量的提高，使得激光能被光学系统聚焦到接近于衍射极限的极小斑点内，这使得高质量的精密加工成为可能。由于热控问题的简化，

2

高功率的光纤激光器在结构上可以得到很大的简化，整体成本大幅降低，这为光纤激光器进入实际生产过程创造了非常有利的条件。举个典型的例子，如果采用常规的Nd:YAG或Nd：YVO4激光器，60W的单横模输出，光束质量因子（M2）小于1.2，价格约为300万人民币，而采用光纤激光器，同样的技术指标，市场售价不到70万。同样，对于20W的高光束质量的固体激光器，价格不会低于35万人民币（此时，较低的价格只能保证光束质量在低于10W时接近单模），而同样功率的光纤激光器的价格低于10万人民币。正因为如此，高的性价比使得光纤激光在绝大多数的领域正在取代传统的常规灯泵和半导体泵浦的固体激光器。

长期以来，高功率的脉冲紫外激光器是精密激光微加工的首选光源。紫外激光加工相对应的激光处理表面可以具有特殊的完整性与光滑度，这主要源于紫外激光在与物质作用中，其过程是直接将分子撕裂、而并非依赖热作用。传统的灯泵或半导体泵浦的固体激光器，为实现高功率的优质基频光输出，需要极为复杂的热耗控制和热透镜畸变补偿系统，这使得整个激光器在结构上相当复杂，稳定性也成为问题。大功率的紫外激光器因此价格昂贵，这也制约了其在各个领域的广泛应用。若能采用高功率的脉冲光纤激光器作为泵源，上述的紫外激光实现起来就要容易得多，其应用得前景极其广大。

浙江省作为制造业的大省，国有和民营的制造企业数量众多，尤其在浙江的温州、台州和金华，民营的制造企业已经成为当地经济的支柱。这些企业目前普遍存在的问题是，技术含量相对较低，产品的利润率较低，很多企业的产品属于出口导向型。随着人民币汇率的不断提高和国外技术壁垒的增多，企业的生存危机已经开始显现。采用高新技术，提高生产效率，降低生产成本是这些企业发展的必然选择。只有这样，浙江省才能从制造业的大省向制造业的强省迈进。其中，采用最新的激光加工技术提升加工制造业将是一种非常明智的选择。

本项目正是针对上述的背景情况，并根据自身的研究条件和工作基础，结合相关企业的研究力量和生产条件，将重点研究实用化高功率脉冲光纤激光器的系列关键技术，并在此基础上，研制可商品化的高功率脉冲光纤激光器，特别是线偏振输出的高功率脉冲光纤激光器，并直接应用于激光光频转换系统，如紫外激光产生和中红外激光产生中，形成直接的社会和经济效益。

3

（二）国内外研究现状和发展趋势

近年来，随着光纤激光器的迅猛发展，其在加工业中的应用研究在国际上一些最为知名的研究单位中已经开始，如英国南安普敦大学光电子研究中心（ORC）与英国剑桥大学激光加工中心联合承担的HEGAC项目，集中研究激光的脉冲形状、峰值功率、光斑形状对加工的各种影响及相应的最佳参数条件；美国的IPG公司所生产的各类光纤激光器已经开始形成商品化的产品；英国的Infinium公司生产的大功率皮秒和亚皮秒的光纤激光器在各种应用领域也开始得到较为广泛的承认。

但是，非常清楚的是，光纤激光器离真正进入广泛的应用、能完全取代传统的固体激光器还有一定的距离，这主要是高功率脉冲光纤激光器的研制目前尚存在一些关键的技术问题迫切需要解决。相比于技术上较为简单的高功率连续激光器，高功率的脉冲光纤激光器可以具有高得多的峰值功率，其加工效果要好得多，因此成为研究的主流。但是，其技术难度也大得多。首先，高功率光纤激光器的脉冲工作的控制问题，这是影响加工效率的最为重要的因素。由于光纤激光器一般采用较长的光纤，因此也就具有较大的腔长，这使得采用常规的调Q技术很难获得较短的脉冲宽度，因此影响输出激光的峰值功率，并进而影响加工效果；其次，光纤中非线性光学现象的克服问题，特别是受激喇曼效应和受激布里渊效应的抑止问题。这类非线性光学现象是导致光纤损坏的重要原因；再其次是光纤与空气界面的保护问题，前期的实验研究已经表明，光纤与空气的界面层是损伤阈值最低的部分，如何有效地保护光纤的端面是保证高功率的光纤激光器长期稳定工作的重要因素；此外，增益光纤的衰退问题，也即常称为光致黑效应（Photodarkening）的解决，也是影响光纤激光长期稳定工作的重要因素；最后，是光纤激光器的全光纤化问题，由于全光纤化的光纤激光器对外界因素，如振动、温飘等因素的影响的不敏感性，将使得光纤激光器能真正地在各种复杂环境的应用场合大显身手。

高功率光纤激光器的研究工作，近几年在国内若干单位也已经得到很好的开展，目前工作主要集中于高功率的连续工作的光纤激光器，中科院上海光机所、中电集团11所、清华大学、兵器工业总公司等相关单位在实验室中已经演示了超过或接近1000瓦的单纤激光功率输出，但一般仅限于在实验平台上的短期激

4

光演示，距离实用化的全光纤激光器尚有较大距离，对具有更大应用前景的高功率脉冲光纤激光器的研制则刚刚开始，与国外光纤激光器的领军单位如美国的IPG公司、英国南安普顿大学光电子研究中心、德国Jana的激光研究所等单位相比尚有较大距离。

本项目的研究工作的主要目的，正是从高精度激光加工的要求出发，深入地探讨和分析上述加工用高功率脉冲光纤激光器所必须解决的各类关键技术问题，并深入地研究相应的技术手段予以解决，使得能通过较短时间的研究，能完全满足实际加工工艺的要求，研制成功实用化的高功率脉冲光纤激光器，促进我国、特别是浙江省的相应产业的发展。

（三）项目主要研究开发内容、技术关键及主要创新点。

本项目的主要研究内容为：通过研究掌握实用化、高功率脉冲光纤激光器研制过程中的系列关键技术，研制高性能的高功率脉冲光纤激光器，特别是线偏振输出的、全光纤化的高功率脉冲光纤激光器。

本项目具体的研究内容和相应的技术关键阐述如下： 内容1、高功率光纤激光器的脉冲控制关键技术

光纤激光器的激光脉宽和峰值功率水平是影响加工质量和加工效率的最为重要的因素。由于光纤激光器一般采用较长的光纤，因此腔长也就较大，这使得采用常规的调Q技术很难获得较短的脉冲宽度，因此影响输出激光的峰值功率，并进而影响加工效果。

技术关键：拟采用主振－放大结构的光纤激光器方案，利用短脉冲工作的小功率种子光纤激光器作为信号源，采用多级放大的技术原理，实现短脉冲、高功率的激光输出。将就最佳的参数条件的获得开展深入的基础研究。

内容2、高功率光纤激光器中非线性光学现象的消除技术

由于光纤激光器长度较大，非线性阈值较低，容易产生受激喇曼散射和受激布里渊散射，这类非线性光学现象是导致光纤激光器损坏的重要原因。

5

技术关键：拟通过优化种子激光设计，优化多级放大器的放大特性和隔离特性，优化种子光耦合条件和激光放大器的工作谱宽，有效地抑止高功率脉冲光纤激光器工作时的非线性效应。将就非线性效应产生的阈值条件、损伤机制、时阈与频阈的特征信号及抑止条件，开展深入的研究。

内容3、高功率增益光纤与空气界面的保护技术和增益光纤的防黑化技术

前期的实验研究工作已经表明，光纤与空气的界面层是高功率光纤激光器中损伤阈值最低的部分，如何有效地保护光纤的端面是保证高功率的光纤激光器长期稳定工作的重要因素；

此外，增益光纤本身在高功率工作条件下的衰退问题，也即常称为光致黑效应（Photodarkening）的解决，也是影响光纤激光长期稳定工作的重要因素。

技术关键：拟通过在增益光纤端部表面设置光纤帽的方案，大幅降低光纤激光端部输出时的功率密度，提高其承受激光功率的能力；拟通过特殊的掺杂手段，提高光纤的抗光损伤能力，防止光纤黑化的产生。并在此同时，采用提高包层的折射率来维持较低的数值孔径条件，使得光纤在具有较好的抗光损伤能力情况下，仍能保持单模工作特性，保证光纤激光的输出模式质量。将就光纤帽的最佳成分配置、光纤帽的最佳深度与融合技术开展深入的研究；将就磷、铝和特殊元素掺杂的最佳光纤组分及其对光黑化效应的抑止作用的最佳作用条件开展深入研究。

内容4、光纤激光器的全光纤化技术

高功率脉冲光纤激光器一般采用主振－放大器结构，但其最后一级

目前仍需要采用传统的自由空间耦合的方式工作，这使得光纤激光器易于受到外界条件的变化如振动、温飘等因素的影响，其长期稳定性收到。解决这一问题的主要办法是全光纤化，将种子和放大级、泵源和放大级之间的自由空间耦合改成光纤耦合的方式。

6

技术关键：拟采用（M＋1）×1的泵浦耦合器实现信号、泵浦与增益光纤的全光纤耦合。将就芯模耦合条件、泵浦耦合器的散热条件及其对准技术开展深入的研究。

内容5、线偏振的实用化高功率脉冲光纤激光器的研制

因为线偏振的高功率脉冲光纤激光器对种子源、增益光纤和脉冲控制均有特殊的严格要求，同样功率的线偏振输出的光纤激光器，其研制难度较随机偏振的脉冲光纤激光器大得多。但以此作为激光泵源，可以实现高效的紫外激光输出和中红外激光输出。

技术关键：拟采用大直径的保偏光纤实现高功率的线偏振输出，将采用种子源的脉冲形状预控制技术抑止有害的非线性光学效应的产生。

在线偏振的高功率脉冲光纤激光器研制成功后，将代替现有的半导体激光器泵浦固体激光器实现高功率的紫外激光和中红外激光输出。

主要创新点：

高功率光纤激光器的研究是目前激光光电子领域最为活跃的研究内容，其中工作于1微米波段的掺镱（Yb）的光纤激光器是大功率光纤激光器中最为出色的。2004年，英国南安普敦大学光电子研究中心的研究人员首先在国际上实现了连续工作模式的光纤激光器单芯输出功率达到1400W的指标，产生了极大的轰动，将原先光纤激光器只能输出小功率、作为传感测量用光源的概念完全。在2006年，脉冲工作的光纤激光器平均输出功率也达到了300W，其峰值功率达到了数万瓦。相比于连续工作模式，脉冲工作的光纤激光器其平均功率虽然较低，但却具有更高的峰值功率，其与物质的作用效果也就更强，因此也更适合于作为加工用的激光光源。此外，脉冲工作的高功率光纤激光器也可以作为各种光频变换系统的初级光源，这主要是由于其横模结构由光纤结构决定，在大功率下仍然不会劣化，可以保持在单模模或低阶模上，其输出的光束质量可以保持很好，光束亮度可以极高。

作为加工用的激光器，除了必须满足功率指标和光束质量指标之外，实际上

7

还涉及更多与应用密切相关的技术参数要求，其相关参数都与光纤激光器的长期稳定性与抗干扰性密切相关。本项目的研究内容，就是针对脉冲工作的高功率光纤激光器的各种影响稳定性和抗干扰性的问题，开展深入的研究工作，争取获得能用以指导实用化加工用高功率脉冲光纤激光器制作的各类关键技术。

本项目的创新之处可以概括为：

1. 高功率脉冲光纤激光器的全光纤化工作。该项工作属于目前国际上研制高功率脉冲光纤激光器的主要内容之一，是目前光纤激光器研制的热点之一。全光纤化的调Q系统种子源，将使脉冲光纤激光器的结构和稳定性获得极大地提高，更适用于商品化激光器应用。

2. 光纤的抗黑化问题。将采用的手段包括特殊的光纤掺杂，以及在芯层掺杂后的折射率变化基础上，调整光纤内包层的折射率以控制相应的数值孔径，使仍能保持稳定的单模工作。这将比目前的抗黑化光纤的高模式结构具有显著的优点，具有鲜明的创新特色。当然，该工作的完成具有较大的难度。

很显然，适用于长期高功率运作的抗黑化光纤的单模化研制工作，将极大地推进光纤激光器的商品化应用。

3. 影响光纤激光器可靠工作的受激喇曼效应和受激布里渊效应等非线性效应的抑止技术。项目将针对喇曼现象的产生机制，通过光纤单位面积上的峰值功率密度和控制光纤材料成分的技术路径加以解决。针对受激布里渊散射，将通过控制种子带宽的方法予以解决。这两方面的工作将在国际上具有创新性。

（四）项目预期目标。（主要技术经济指标、社会效益、技术应用和产业化前景以

及获取自主知识产权的情况）

主要技术指标：

本项目的主要技术指标包括下列三点：

1．总体目标：解决高功率脉冲光纤激光器实用化的系列关键技术，研制成功可商品化的高功率脉冲光纤激光器样机；

2．研制成功随机偏振的1微米波段的Yb高功率脉冲光纤激光器，输出功率大于

8

30W；线偏振的高功率脉冲光纤激光器，输出功率大于20W。光束质量指标(M2)优于2。激光工作波长：1062 nm ±10 nm，重复脉冲频率：10 kHz～100 kHz，脉宽：10～200 ns

主要经济指标

本项目顺利实施后，可望研制成功具有完全自主知识产权的高功率脉冲光纤激光器；该类激光器可广泛应用于激光加工和国防等领域，经过前期市场考验后，可望形成商品化的激光器供应国内，并在条件许可时，进军国际市场。

目前国外同类产品（20W，随机偏振）在国内的销售价格为25～35万元人民币/台，目前初步考虑本项目成果研制成功商品化激光器后价格定位在15～20万元/台。经调查和评估，全国年销售验加工用激光器( 包括大功率二氧化碳激光器和灯泵的固体激光器)在几万台以上，高品质的光纤激光器年销售量将可能达到几千台，其市场的容量极大。考虑各种竞争因素，本项目顺利实施后在激光精密加工机市场尚将产生2000～3000万元的年销售额，所带来的产值、利润和税金都将相当可观。线偏振的光纤激光器将主要用于紫外和中红外激光器配套产品，年销售量不会低于50台。

社会效益、技术应用和产业化前景及获取自主知识产权情况

高功率的脉冲光纤激光器属于当前正在快速发展的高技术产品，在国际上也属于刚起步阶段，其应用涉及工业、环保、科研、国防等诸多领域。作为一种高端科技产品，项目的成功开展对于提升国产高端设备的自主研发能力、促进新技术在各个领域的应用、提高生产效率、降低生产成本均具有非常重要的作用，将产生很好的社会效益和可观的经济效益。适合于商品化开发的样机研制成功后，能迅速占领市场，形成年销售额达几千万元甚至更大的新兴产业。

本项目研制过程涉及多项关键技术的自主开发，通过本项目的研究，将能形成具有完全自主知识产权的实用化高功率光纤激光器的研发和生产能力。预期将在全光纤化技术和抗黑化光纤技术等方面获得（申请）专利两项以上（发明专利）。项目部分研究成果将以论文形式发表，预期将发表论文5篇以上。

9

（五） 项目实施方案、技术路线、组织方式与课题分解。

实施方案：

本项目组将联合高校的技术人员与相关企业的研究力量，在原有工作基础上，采取联合攻关的方式，解决相关的系列关键技术难题，研制高功率脉冲光纤激光器，并力争使所研制的产品商品化，进入市场。

将结合技术攻关与产学研的特点，深入研究、掌握光纤激光器结构化、全光纤化及稳定控制等技术向产品转化所必须解决的关键制作技术，将利用技术专长，研制具有关键意义的抗黑化单模化光纤，实现高功率脉冲光纤激光器的实用化和可商品化。

将充分发挥高校与公司各自的技术特点，形成产、学、研一体化的研制模式，并结合相关公司已有的产品，使先进的技术手段在新产品上得到体现，并尽快投入市场。

技术路线：

高功率脉冲光纤激光器将采用种子——放大结构（MOPA）的模式进行设计，种子拟采用全光纤化的调Q源，通过隔离器和耦合器进入放大用的增益光纤，实现功率放大。其基本的框架如图1所示。

光纤激光输出 调Q工作的 种子激光器 隔离器 光纤功率放大器 隔离器 激光器 驱动源 半导体激光 器泵浦源 激光器 驱动源 图1 高功率脉冲光纤激光器原理框图

10

组织方式与课题分解：

本课题按项目研究内容可分解为系统总体结构设计、光纤优化、种子激光研制和激光功率放大系统研制等几部分，最后集成为实用化的光纤激光器。各部分内容相互关联，前后衔接，其最终目标是研制成功一个可商品化的高功率激光器，投入市场。

整个课题将由项目申请单位负责计划各方面的实施，各个项目参加单位按技术实力与基础条件分别参与项目的总体设计、部件研制以及样机的商品化设计和市场化推广工作。其中明确参加单位1将负责线偏振高功率光纤激光器的产业化和市场推广工作，参加单位2将负责随机偏振高功率光纤激光器的产业化和市场推广工作。

（六） 计划进度安排。

本项目工作将在前期工作基础上，于2009年初正式开始启动，2010年底结束，计划在2年内完成，目前项目相关研究工作基础良好，各项工作进展顺利。作为关键技术难题的脉冲控制、MOPA结构的脉冲激光器均已经实现，光纤抗黑化的工作也取得一定进展，全光纤化的工作正在开始试验中。上述各项工作基础将为项目的顺利开展奠定良好的基础。 项目具体进度安排如下： 2009.1.1 —2009.6.30

开展脉冲光纤激光器的全光纤化实验工作；进行抗黑化光纤的试制工作；开展光纤激光器的脉冲波形控制工作；开展光纤端面表面的保护帽处理与性能试验工作；

2009.7.1 —2009.12.31

开展光纤激光器的功率放大增强工作；开展光纤激光器的脉宽与谱宽的控制与试验工作；开展线偏振高功率光纤激光器研制工作；开展随机偏振的高功率脉冲光纤激光器的样机试制工作； 2010.1.1—2010.6.30

开展光纤激光器的稳定性测试与市场推广工作；开展光纤激光器作为泵源的激光倍频和光参量振荡器研究工作；

11

随机偏振光纤激光器功率输出达到30W，线偏振光纤激光器功率输出达到20W。

2010.7.1—2010.12.31

实现光纤激光器的优化设计配臵；进一步开展光纤激光器的应用试验与推广工作；完成项目总结。

预期项目将在2010年底之前完成全部计划工作，并在2010年底之前完成项目验收。

（七） 现有工作基础和条件。

项目申请单位具有长期开展光电子激光技术研究的研制工作基础，在光电子材料、固体激光器、光纤激光器、光纤传感器研究等领域具有雄厚的技术实力，承担过国家、省部级多项重要研究课题，近期开展的高功率脉冲光纤激光器已经实现30W平均功率的1微米波段的Yb光纤激光输出（注：其中作为功率放大的最后一级的光纤放大器目前仍为自由空间耦合，尚未实现全光纤化，因此在稳定性与实用化程度上仍有较大困难，需要进一步改进）。项目组在此基础上开展全光纤化的项目，已经充分认知项目开展过程中将要面对的关键技术问题，并对相应的解决方法做了深入、细致的考虑。

项目申请单位具有较为完备的开展光纤激光器研究工作的相关实验条件，具有多个不同波长的大功率的半导体激光器泵浦源（976nm、50W一个，808nm、60W一个，792nm、90W一个）及驱动源、大直径保偏光纤熔接机、大动态范围的光纤光谱仪、带宽500MHz的数字示波器、拥有以倍频氩离子激光器为核心的光纤光栅制作系统、各种类型的多个激光功率计及各类激光研究用的相关元器件，此外，项目开展所需的大直径光纤切割刀正在购臵中。项目组人员经过长期的光纤激光器和固体激光器研究工作训练，具有丰富的研究工作经验。项目负责人与项目主要参加人员具有长期在国外知名高校学习、工作的背景，与国际知名研究中心建立有较好的合作关系，这在一定程度上也将推动项目的顺利开展。项目组充分掌握高功率光纤激光器光纤端面处理所必须的技术，拥有相关的端面抛光和检测设备，完全有条件开展实用化高功率光纤激光器的研制及其产业化工作。

12

图2为申请者近期研制的主振－放大模式的高功率脉冲光纤激光器的原理示意图，在工作波长为915 nm的半导体激光器60W的泵浦条件下，已经获得30W功率的1062nm波段的脉冲光纤激光输出（图3），其重频为10kHz～100kHz，脉宽为10ns~120ns，光束质量极好，光束质量因子(M2)优于1.3（见图4的激光光斑测试结果），光谱输出带宽约0.3nm，并很好地抑止了受激喇曼散射和受激布里渊散射。已经利用所研制的保偏输出的脉冲光纤激光器作为泵浦源，泵浦一个高效的光参量振荡器系统，在17W的泵浦条件下，获得了近10W的OPO输出，斜效率达到了68％，充分说明了所研制的光纤激光器的高光束质量

图2 申请者近期研制的高功率脉冲光纤激光器原理图

13

3530Fiber laser output (W)252015105001020304050Pump power at 915 nm (W)

图3 申请者近期研制的高功率脉冲光纤激光器输出功率

与泵浦功率的关系图

项目参加单位之一是多年开展固体激光器制作与应用相结合的高新技术企

图4 申请者近期研制的高功率脉冲光纤激光器远场光斑测试图

14

业，项目参加单位之二的主要业务是各类光电子激光器件的生产与开发，两个单位均具备良好的激光器研制与应用基础，具有市场化推广能力，并对相关技术的发展表现出强烈的参与积极性，能提供相应的配套条件，对光纤激光器的实用化与产业化将起到重要的作用。

15

二、经费概算

（一）省级科技计划项目经费概算表

省财政拨款 地方部门配经费 （3） 套经费 （4） 项目名称：金属合金成份自动检测的系列关键技术及设备研究 金额单位： 万元 序号 概算科目名称 （1） 合计 （2） 自筹经费 （5） 1 一、经费支出（合计） 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 1、设备费 （1）购置设备费 （2）试制设备费 （3）设备租赁费 2、材料费 3、测试化验加工费 4、燃料动力费 5、差旅费 6、会议费 7、合作、协作研究与交流费 8、出版/文献/信息传播/知识产权事务费 9、人员劳务费 10、专家咨询费 11、管理费 12、其他开支 400 120.0 120.0 0.0 0.0 77.0 42 35.0 38.0 25.0 20.0 12.0 15.0 6.0 8.0 2.0 100 0 300 120 180 第1年 65 65 100 0.0 0.0 0.0 0.0 77 0 0 0 0 0 0 15.0 0 8.0 0 第2年 35 35 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 第3年 300 120 120 0 0 0 42.0 35.0 38.0 25 20.0 12 0 6 0.0 2.0 1 二、经费来源（合计） 2 3 4 5 6 1、申请省财政经费 2、地方、部门配套拨款 3、自筹经费 （1）单位自有货币资金 （2）其他资金 省财政科技经费拨付进度申请 金 额 比例（％） 注：支出概算按照经费开支范围确定的支出科目和不同经费来源编列，同一支出科目一般不同时在财政拨款经费和自筹经费中概算。

16

（二）．经费概算说明。

本项目预算总经费400万元，其中计划申请省财政经费100万元，自筹经费共300万元（包括参加单位自有货币资金120万元，承担单位与参加单位配套资金180万元）。项目参加单位之一承诺将提供130万元的配套经费支持，主要用于项目研制过程中的测试与加工费。项目参加单位之二承诺提供50万元的自有资金用于本项目中相关设备的开发，以及用于测试加工与合作交流费用。 项目承担单位将通过自有经费投入设备费120万元作为单位配套资金，主要用于本项目中尚缺少的设备购臵，包括线偏振的全光纤化的隔离器25万元（2.5万元/个，10个），全光纤化的起偏器10万元（2万元 / 个，5个），400mW的1微米种子用半导体激光器8万元（1.6万元/个，5个），光纤偏振控制器8万元（0.8万元/个，10个），大功率激光隔离器8万元（4万元/个，2个），纳米级精密调节架20万元（2万元/个，10个），大功率（180W）尾纤输出的半导体激光器泵源25万（25万/台，1台），多路光纤合束器6万元（3万元/个，2个），915nm的中等功率半导体激光器10万元（0.5万元/个，20个）。 本项目预算中，材料费77万元主要用于商品化的大芯径增益光纤购臵（48万元，6千元/米，约80米），光纤抛光材料10万元，非球面耦合透镜及其他光学元器件5万元光纤标准样品购臵（用于所研制设备的光谱定标）、精细化学品购臵10万元，相关电子元器件4万元；测试化验加工费42万元主要用于精密光学元件加工、导光光纤束加工、机械加工等；燃料动力费35万元主要用于项目研制过程中的水电等相关费用支出；差旅费38万元主要用于项目开发过程中的人员出差费用；会议费25万元主要用于参加学术会议、成果展示会、及各类产品展览会等；合作、协作研究与交流费共20万元，主要用于与国外合作单位的合作研究工作；出版/文献/信息传播/知识产权事务费12万元主要用于专利申请、论文发表等；人员劳务费15万元主要用于项目辅助参加人员和研究生的的补贴；专家咨询费6万元包括专家鉴定会、验收会及其他咨询费用支出，管理费8万元为承担单位的项目管理费。

17