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专利名称:三维形状测量方法专利类型:发明专利
发明人:金珉永,金熙泰,俞炳敏,韩世铉,李承埈申请号:CN200710002910.3申请日:20070126公开号:CN101029820A公开日:20070905
摘要:本发明涉及三维形状测量方法,当检查对象物不处于正常检查模式的场合,在有裸板信息的板时通过数据库检索裸板信息、在由没有裸板信息的供应厂商供应的板的场合通过裸板学习来测量板的三维形状。本发明的三维形状测量方法包括以下步骤:测量第一照明源(41a)的亮度、测量将相位变换成高度的因数、确认测量作业是否为正常检查模式、测量与正常检查模式相应的板(62)的三维形状、确认有没有关于板的裸板信息、在没有裸板信息的情况下实施裸板学习、当裸板信息存在或产生裸板学习信息时测量与学习检查模式相应的板的目标对象物的三维形状、使用三维形状信息来分析板是否正常。由此,更易于实施板的三维形状测量作业。
申请人:株式会社高永科技
地址:韩国首尔
国籍:KR
代理机构:北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司
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