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专利名称：光波导探测器与光模块专利类型：发明专利
发明人：费永浩,崔积适,朱以胜申请号：CN201610113602.7申请日：20160229公开号：CN105655417A公开日：20160608
摘要：本发明提供一种光波导探测器与光模块，包括：沿第一方向堆叠的波导层、上包层和电极层；波导层包括硅波导层和锗波导层，锗波导层位于硅波导层和上包层之间；硅波导层包括沿第二方向排列的P型硅高掺杂区、P型硅轻掺杂区、N型硅轻掺杂区和N型硅高掺杂区，第二方向垂直于第一方向；锗波导层包括第一锗高掺杂区和锗未掺杂区，锗波导层的第一表面包括第一锗高掺杂区的表面，第一表面为锗波导层在第一方向上背向硅波导层的表面，第一锗高掺杂区的宽度小于或等于第一表面宽度的一半，第一锗高掺杂区的厚度大于或等于5nm且小于或等于200nm；上包层包括连接第一锗高掺杂区与电极层的金属过孔。本发明实施例能够在有效提高光波导探测器的带宽。
申请人：华为技术有限公司,北京大学
地址：518129 广东省深圳市龙岗区坂田华为总部办公楼
国籍：CN
代理机构：北京龙双利达知识产权代理有限公司
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