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硅片新切割工艺方法[发明专利]

来源:99网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:硅片新切割工艺方法专利类型:发明专利发明人:唐旭辉

申请号:CN201110069794.3申请日:20110323公开号:CN1026367A公开日:20120926

摘要:本发明提供了一种硅片新切割工艺方法,其步骤如下:A)收放线轮将新钢丝绕在卷筒上,与空卷筒成为一体供应钢丝进行卷绕作业后,经卷绕导辊移动平台使得行走钢线不出现松动的现象,且能够将钢丝顺利送给,均匀卷绕;B)松紧调节辊从卷线筒至绕线之间的钢丝保持一定的张力行走;再经测立传感器让钢丝保持一定张力行走;C)导辊为使钢丝圆滑地行走而附带的辅助工具,主轴组合使用2根构成的滚筒,在滚筒之间将硅片工件进行切片;本发明结构简单,操作方便,成品率升高;产量提高;降低了生产成本。

申请人:江苏聚能硅业有限公司

地址:215000 江苏省苏州市吴江市盛泽镇西二环路1号

国籍:CN

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