一种具有裂纹的导电薄膜的高灵敏度传感器及其制作方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201480042994.1 （22）申请日 2014.12.03

（71）申请人 多次元能源系统研究集团;首尔大学校产学协力团;成均馆大学校产学协力团

地址 韩国首尔冠岳区冠岳路1号

（10）申请公布号 CN105612588A

（43）申请公布日 2016.05.25

（72）发明人 姜大植;崔瑢桓;李赞锡;徐甲亮;金泰一;崔万秀 （74）专利代理机构 深圳市顺天达专利商标代理有限公司

代理人 蔡晓红

（51）Int.CI

H01B5/14; H01B13/00;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种具有裂纹的导电薄膜的高灵敏度传感器及其制作方法

（57）摘要

本发明公开了一种具有裂纹的高灵敏度传

感器。本发明的高灵敏度传感器通过在形成于载体上的导电薄膜上形成细微裂纹获得，所述细微裂纹形成一个电性变化的微连接结构，形成短路或者开路产生电阻值的变化，从而将外界刺激转化为电信号。本发明的高灵敏度传感器能够有效的应用于位移传感器、压力传感器、振动传感

器、人造皮肤、声音识别系统等。

法律状态

法律状态公告日

2016-05-25 2016-05-25 2016-06-22 2016-06-22 2019-02-01

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效

发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效

发明专利申请公布后的视为撤回

权利要求说明书

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说明书

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