专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：一种用于直拉硅单晶炉排气系统的排气管道专利类型：实用新型专利
发明人：娄中士,王林,李亚哲,郑海峰,张颂越,孙毅申请号：CN201520385238.0申请日：20150604公开号：CN204752905U公开日：20151111
摘要：本实用新型涉及一种用于直拉硅单晶炉排气系统的排气管道，包括炉内缩放管和炉外缩放管，炉内缩放管包括气体进入段、收缩段和气体排出段，气体进入段为呈喇叭状扩口，收缩段和气体排出段均为直通管，收缩段的直通管管径小于气体排出段的直通管管径，炉外缩放管与气体排出段相连，炉外缩放管为管体外径等径的通管，炉外缩放管的管体内壁面设有凸缘和凹缘。本发明创造可加快氩气及炉内挥发物的混合气体排出炉内的速度，缩短挥发物在炉内及管道口的停留时间，减少挥发物在炉膛排气管口的聚集与沉积；可使管内气体由层流变为湍流，提高管道内挥发物温度，有利于降低挥发物在管道内的沉积，可有效改善排气效率、降低由排气管道堵塞引起的熔体液面抖动的概率，进而改善成晶。
申请人：天津市环欧半导体材料技术有限公司
地址：300384 天津市滨海新区高新区华苑产业园区(环外)海泰东路12号
国籍：CN
代理机构：天津滨海科纬知识产权代理有限公司
代理人：李莉华
更多信息请下载全文后查看
