单晶炉加热器

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN202010423683.7 （22）申请日 2020.05.19

（71）申请人 邢台晶龙电子材料有限公司

地址 054000 河北省邢台市开发区南园区兴达大街

（10）申请公布号 CN111394798A

（43）申请公布日 2020.07.10

（72）发明人 王东;张志耀;何志国

（74）专利代理机构 上海华诚知识产权代理有限公司

代理人 徐颖聪

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

单晶炉加热器

（57）摘要

本发明涉及单晶炉加热器，包括：本体，

所述本体包括多个加热部，多个所述加热部首尾相连围设成环状，每个加热部包括多个加热板；加热器腿，所述加热器腿位于两个加热部之间；第一连接件和第二连接件，其中，相邻的两个所述加热部通过所述第一连接件相连接，所述加热器腿与其相邻的两个加热部通过第二连接件相连接。本发明实施例的单晶炉加热器，各个部件可以单独加工，装配使用，避免了单晶炉加热器通

过整块石墨材料加工而成，较大的减少了石墨材料的使用，从而有效的降低了单晶炉加热器的成本，且在使用一段时间后，只需要将老化的部件进行更换而无需单晶炉加热器整体报废，从而进一步的降低了单晶炉加热器的使用成本。

法律状态

法律状态公告日

2020-07-10 2020-07-10 2020-08-04

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效

法律状态

公开 公开

实质审查的生效

权利要求说明书

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说明书

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