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专利名称：晶圆冷却装置及涂胶显影设备专利类型：实用新型专利发明人：张海陆,颜廷彪申请号：CN201920668583.3申请日：20190510公开号：CN210668283U公开日：20200602
摘要：本实用新型提供一种晶圆冷却装置及涂胶显影设备，所述晶圆冷却装置包括：冷却盘，用于承载晶圆；均流板，设置于所述冷却盘的下方，且均流板上设置有第一路槽；工作流体，设置于所述第一路槽内。本实用新型提供的晶圆冷却装置降低了冷却管破裂的几率，减少设备能耗，节约生产成本，而且避免了在均流板升降过程中冷却管位置的偏移，减少述冷却管破损几率的同时，降低了晶圆重工的几率，提高了产品良率。
申请人：德淮半导体有限公司
地址：223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
国籍：CN
代理机构：上海思捷知识产权代理有限公司
代理人：王宏婧
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