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专利名称：基于单壁碳纳米管的双悬臂梁红外探测器及其形成
方法
专利类型：发明专利发明人：汪飞,张绍达
申请号：CN201410262035.2申请日：20140612公开号：CN104071742A公开日：20141001
摘要：本发明公开了一种基于单壁碳纳米管的双悬臂梁红外探测器及其形成方法。其中该探测器包括：基底，基底中形成有贯穿基底顶表面和底表面的检测窗口；两个异质悬臂梁，每个异质悬臂梁位于基底之上，每个异质悬臂梁的固定端与基底相连，自由端悬空在检测窗口之上；单壁碳纳米管薄膜，单壁碳纳米管薄膜桥接于两个异质复合悬臂梁的两个自由端之间，其中，异质悬臂梁包括第一材料层和位于第一材料层之上的第二材料层，第一材料层与第二材料层的热膨胀系数不相同。本发明的基于单壁碳纳米管的双悬臂梁红外探测器具有灵敏度高、结构简单等优点。
申请人：南方科技大学
地址：518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号
国籍：CN
代理机构：北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：张大威
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