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浸渍法在制备薄膜中的应用

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浸渍法在制备薄膜中的应用

敖登格日乐

【摘 要】近几年来,随着高科技的发展,薄膜技术已成为一门综合性的应用科学.本文介绍了制备薄膜的液相法—浸渍法的原理、特点以及影响薄膜厚度的因素,并举例说明了此法在制备薄膜中的应用及需要注意的问题. 【期刊名称】《内蒙古石油化工》 【年(卷),期】2013(000)021 【总页数】2页(P20-21) 【关键词】浸渍法;液相法;薄膜 【作 者】敖登格日乐

【作者单位】内蒙古师范大学化学与环境科学学院,内蒙古呼和浩特 010022 【正文语种】中 文 【中图分类】TQ320.72+1

在这个高度信息化的社会,各种技术当中薄膜技术发挥着非常重要的作用。形成薄膜的技术通常分为两类,一类是气相法,另一类是液相法。气相法虽能生成均一且致密的薄膜,但是由于使用真空装置,所以设备成本昂贵。而液相法非常简便,所以近些年,在金属、半导体等领域,液相法作为一个廉价、节能的新型薄膜形成技术备受青睐。

液相法根据涂布方法分为旋涂法(spin coating),浸渍法(dip coating)和喷

涂法(spray coating)等[1]。旋涂法是在高速旋转的基板上滴下被涂液,根据向心力形成均匀薄膜的方法。它通过基板旋转数与涂布液的浓度控制薄膜的厚度,但是很难实现在大面积基板上的涂布。喷涂法是将涂布液喷在基板上,它可以进行连续涂布,但是不容易做到涂敷均匀。和这些方法比较,浸渍法是将基板浸渍在涂布液中,然后以一定的速度将其提拉使其表面上形成薄膜的方法,此法非常简便,而且根据涂布液粘度及提拉速度来控制薄膜厚度,从而解决了上述方法中不能大面积均匀涂布的问题。目前在化学、材料科学的研究中,被广泛应用于各种薄膜材料的制备。 1 浸渍法的概要 1.1 原理

浸渍法是指如图1所示,将基板浸渍在涂布液中,以一定的速度向上提拉,然后将附着在基板上的液膜干燥使其成膜的方法[2~6]。在这里提拉是最重要的过程。基板可以垂直,也可与液面成一定角度。提拉速度过快,薄膜会变得很厚,易产生液滴,严重时薄膜会白浊。相反,如果提拉速度太慢,由于溶剂的挥发,会产生线状条纹。所以,利用浸渍法制备薄膜时一定要注意保持液面平稳,要以最佳的速度均匀地操作[7~10]。 1.2 特点

浸渍法有以下特点:①对于大面积,复杂形状的基板也能均匀涂布。②和昂贵的气相法成膜装置比较,设备成本低廉。③可在常温下操作,能量消耗小。④涂布液的损失少。⑤作业简单。⑥在基板的双面形成薄膜。 图1 浸渍法的原理

图2 膜厚与提拉速度的关系 1.3 影响薄膜厚度的因素

决定薄膜厚度的因素有涂布液的粘度、密度、表面张力、提拉速度和提拉角度等。

考虑表面张力时,膜厚可用式(1)[6~8]表示。

这里,v表示提拉速度、η涂布液粘度、ρ密度、g重力加速度、γ表面张力。从这个式子可以看出,在其他条件都一致的情况下,膜厚与提拉速度的2/3次方成正比[6-8,11]。随着涂布液粘度η及提拉速度ν的增加,被涂的液量增加,膜会变厚。

图3 膜厚与涂敷次数的关系

图4 粒径200nm聚苯乙烯粒子结晶膜的SEM 图5 粒径200nm聚苯乙烯粒子结晶膜的断面照

作者利用浸渍法在玻璃板上制备了透明导电薄膜[12]。玻璃板(2.0×2.0cm)在含有表面活性剂的水溶液中进行30min的超声波洗净后,分别用纯水和丙酮淋洗,烘干。然后将其浸渍在透明导电涂料(TA Chemical Co.,CONISOL F205)中用 micro dipcoater MD-0408-S2进行涂布。干燥后用显微镜(Hitachi High-Technologies Co.,Miniscope TM-1000)观察了生成的透明导电薄膜。 图2表示提拉速度在1.0~5.0mm/s范围内的薄膜厚度与提拉速度的2/3次方的关系,很清楚地可以看到,它是一条通过原点的直线。如果想得到比较厚的薄膜,还可通过增加涂敷次数来实现。图3表示提拉速度在5.0mm/s时分别涂敷1,2,3,4及5次时的膜厚度与次数的关系图。所以制备厚膜时,除可以提高提拉速度,增加涂布液的浓度、粘度之外,多次重复浸渍-提拉-干燥过程也是很有效的方法。 2 薄膜的制备

利用Nano dipcoater ND-0407,将经过浓硫酸处理的玻璃板置入200nm聚苯乙烯分散液中,通过浸渍法制备的结晶膜的电子显微镜照片如图4所示。从图我们可知聚苯乙烯粒子呈六角型构造。而且从其横截面照片(图5)看到聚苯乙烯粒子形成最紧密填充构造。

3 成膜现场中存在的问题 3.1 膜缺陷

在实际的成膜现场经常发生各种各样的膜缺陷。例如,在涂布时会出现液滴,线状条纹等。为了消除这些成膜时产生的缺陷,就要研究不同缺陷产生的不同原因,做到对症下药。缺陷产生的主要原因有环境及基板的污损,涂布液的组成等。作为外部环境的温度、湿度的影响可通过空调设备加以改善。但是并非只调节温度,湿度就能解决膜缺陷的问题。例如,以挥发性有机溶剂作为涂布液的溶剂时,由于溶剂的蒸发而产生的条纹非常严重。这种情况下,通过防风罩使其产生有机溶剂的气室来解决。对于基板下方产生的液滴可通过在基板下端安装工具,使涂布液顺着基板流到工具上,消除由基板下方残留的液滴造成的厚度不均匀问题。还有,在涂布液中加入匀染剂,也能有效地改善膜缺陷。 3.2 单面涂敷

浸渍法是将基板浸渍在涂布液中形成薄膜的方法,所以,一般情况下都是在基板的正反两面成膜。但是,很多时候液需要单面涂布,那么在两面形成薄膜后,须将其一面的薄膜剥离,这就使操作变得繁琐复杂。通常,在支持体一面用粘着或抽空气减压的方法安装带有空室的胶皮,再将基板需要涂布的一面作为外侧与胶皮固定在一起进行涂布,然后在空室中注入空气,使基板与支持体分离,就能实现单面涂布。倘若溶剂为有机溶剂则可在支持体上修饰一层聚乙烯醇(PVA)薄膜,然后再进行成膜。 [参考文献]

[1]山根正之,「ゾルゲル法の技术课题とその对策」(株)アイピーシー,(1990),195.

[2]作花济夫,「ゾル-ゲル法の科学—机能性ガラスおよびセラミックスの低温合成—」アグネ承风社,(1988),85~103.

[3]作花济夫,「ゾル-ゲル法の应用—光、电子、化学、生体机能材料の低温合成—」アグネ承风社,(2001),116~156.

[4]山根正之:「ゾルゲル法によるガラス?セラミックスの制造技术应用とその应用技术出版,19.

[5]作花济夫:「ゾル-ゲル法のナノテクノロジーへの应用」シーエムシー,(2005),35~36.

[6]「21世纪を生き拔くコーティング?テクノロジーの主役 コーティング—ハード技术の过去 现在から未来を学ぶ―」加工技术研究会,(2002),42~47,375~376.

[7]L.D.Landau and B.V.Levich:Acta PhysicoChim.URSS,17,42(1942). [8]I.Strawbridge and P.F.James,Journal of Non-Crystalline Solids,86,381-393(1986).

[9]C.C.Yang,J.Y.Josefowicz and L.Alexandru:Thin Solid Films,74,117-127(1980).

[10]C.J.Brinker,A.J.Hurd,P.R.Schunk,G,C,Frye and C.S.Ashley,Journal of Non-Crystalline Solids,147~148,424~436(1992). [11]原崎勇次:「コーティング方式」桢书店,(1979),125~126 [12]泽田丰:「透明导电膜」(株)シーエムシー,(1999).

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