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专利名称：具有响应多个RF频率的等离子体处理器专利类型：发明专利
发明人：R·季米萨,F·科扎克维奇,D·特拉塞尔申请号：CN201010188865.7申请日：20050525公开号：CN101866808A公开日：20101020
摘要：一种处理工件的等离子体处理器包括具有频率2MHz、27MHz和60MHz的源，它们由三个匹配网络施加于包含工件的真空腔中的电极。可选择地由第四匹配网络将60MHz施加于第二电极。基本上调谐到驱动其的源的频率的匹配网络包括串联电感，所以2MHz电感超过27MHz网络电感，且27MHz网络电感超过60MHz网络电感。匹配网络将驱动其的源的频率衰减至少26DB。在27和60MHz源之间的分流电感器将2MHz从27和60MHz源分隔开。串联共振电路(共振于约5MHz)分流2MHz网络和电极以帮助2MHz源匹配于电极。
申请人：拉姆研究有限公司
地址：美国加利福尼亚州
国籍：US
代理机构：上海华晖信康知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：樊英如
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