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汽化器[发明专利]

来源:99网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:汽化器专利类型:发明专利

发明人:楠原昌树,梅田优,深川满,都田昌之申请号:CN201180062075.7申请日:20111221公开号:CN103380486A公开日:20131030

摘要:本发明提供的是可减少膜的波纹,微粒,和碳含量且可供应可形成具有期望组成的膜的原材料的汽化器。此外,提供无需额外加热可实施足够汽化的汽化器且可改善温度管理。汽化器包括成膜用液体材料分散于其中的载体气体所被导入的汽化器主体(3)和配置于汽化器主体内的加热器主体(4)。加热器主体的入口部分的形状为圆锥。

申请人:株式会社渡边商行,楠原昌树,梅田优,都田昌之

地址:日本东京都区日本桥室町4丁目2番16号

国籍:JP

代理机构:北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司

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