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专利名称：一种流水线式石英坩埚清洗装置专利类型：发明专利发明人：刘福鸿,陈宝昌申请号：CN201710071829.4申请日：20170209公开号：CN108405525A公开日：20180817
摘要：本发明公开了一种流水线式石英坩埚清洗装置，包括第一传送辊输送部、第二传送辊输送部和清洗部，所述第一传送辊输送部和第二传送辊输送部之间具有间隙，所述第一、二传送辊输送部均包括平行设置的两个横梁和位于两个横梁之间平行设置的多个传送辊；所述清洗部包括顶板和活动板，所述顶板上具有多个顶部喷嘴，所述活动板上具有多个底部喷嘴，所述活动板安装在液压缸的自由端的端部，所述液压缸的自由端能够穿过所述间隙；所述清洗装置还包括储液部和液体泵，所述多个顶部喷嘴和多个底部喷嘴均与所述储液部相连，所述液体泵用于将储液部中的液体泵送至所述多个顶部喷嘴和多个底部喷嘴。本发明的清洗装置效率高。
申请人：江苏华尔石英材料股份有限公司
地址：225600 江苏省扬州市高邮经济开发区长江路
国籍：CN
代理机构：南京申云知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：邱兴天
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