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一种通过光学显微镜观测纳米结构的方法[发明专利]

来源:99网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种通过光学显微镜观测纳米结构的方法专利类型:发明专利

发明人:王江涛,李天一,赵清宇,姜开利,范守善申请号:CN201410034579.3申请日:20140125公开号:CN104808325A公开日:20150729

摘要:本发明公开了一种通过光学显微镜观测纳米结构的方法。该方法包括以下步骤:S1,提供一待观测样品,该待观测样品具有纳米结构;S2,将上述待观测样品放置在所述光学显微镜系统的光学显微镜的载物台上;以及,S3,向所述待观测样品表面通入蒸气。由于蒸气可以在载物台上的样品的纳米结构表面形成液滴,从可以使得光学显微镜直接观测到该具有纳米结构的样品形态。该光学显微镜系统具有效率高,成本低的优点,从而可以大大提高纳米结构的观测效率。

申请人:清华大学,鸿富锦精密工业(深圳)有限公司

地址:100084 北京市海淀区清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室

国籍:CN

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