清扫装置及清扫系统

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201711107172.9 （22）申请日 2017.11.10

（71）申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司

地址 201203 上海市浦东新区张江路18号

（10）申请公布号 CN109772811A

（43）申请公布日 2019.05.21

（72）发明人 罗曙霖;杨鹏;宋维岗;姚宏忠;张轲

（74）专利代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人 屈蘅

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

清扫装置及清扫系统

（57）摘要

本发明提供一种清扫装置及清扫系统，用

于集成电路制造，所述清扫装置主要由控制单元、吹扫单元以及吸除单元组成，可实现自动清洁功能，大大减少人力清洁成本，能够避免人工搬运和二次污染，具有方便性、安全性、经济性等优势，所述清扫装置及清扫系统可以集成到相应的集成电路晶片加工机台上，以大大提升集成电路晶片加工机台设备的空间可利用率。

法律状态

法律状态公告日

2019-05-21 2019-05-21 2019-06-14

公开 公开

法律状态信息

公开 公开

法律状态

实质审查的生效 实质审查的生效

权利要求说明书

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说明书

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